衡量儀器儀表性能的主要技術指標有精確度、靈敏度、響應時間等。精確度表示儀表測量結果與被測量真值的一致程度。儀器儀表的精確度常用精確度等級來表示，例如0.1級、0.2級、0.5級、1.0級、1.5級等。0.1級表儀表總的誤差不超過±1.0%范圍。精確度等級數小，說明儀表的系統誤差和隨機誤差都小，也就是這種儀表精密。靈敏度表示當被測的量有一個很小的增量時與此增量引起儀表示值增量之比，它反映儀表能夠測量的最小被測量。響應時間是指儀表輸入一個階躍量時，其輸出由初始值第一次到達最終穩定值的時間間隔，一般規定以到達穩定值的95%時的時間為準。此外，還有重復性、線性度、滯環、死區、漂移等性能技術指標。
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