20世紀中期以后，隨著自動控制理論的產生和自動控制技術的成熟，以A /D (數字/模擬轉換)環節為基礎的數字式儀器得到快速發展。
伴隨著計算機、通訊、軟件和新材料、新技術等的快速發展與成熟，人工智能、在線測控成為可能，使儀器走向智能化、虛擬化、網絡化。
數字儀器、智能儀器、個人計算機儀器、虛擬儀器和網絡儀器代表了20世紀現代科學儀器發展的主流與方向。
十二五”期間工信部已把傳感器及智能化儀器儀表擺到推動制造業轉型升級的重要位置，在工信部相關資源中對傳感器及智能化儀器儀表的研發及產業化予以支持。
數字化是智能儀器、個人儀器和虛擬儀器的基礎，是計算機技術進入測量儀器的前提。廣泛應用于電子數字計算機、數控技術、通訊設備、數字儀表等方面，諸如人類第一臺電子數字計算機ENIAC，愛思達金相顯微鏡，體視顯微鏡，X光檢查機等。
智能儀器
智能儀器是把一個微型計算機系統嵌入到數字式電子測量儀器中而構成的獨立式儀器。
嵌入的計算機系統可以是芯片級，如單片機、數字信號處理(Digital Signal Processing,DSP)等，模板級如PC - 4。也可以是系統級，如微型計算機系統，可編程單芯片系統( System on a ProgrammableChip,SOPC)等。
智能儀器在結構上自成一體，有的儀器內部還帶有專用的微型計算機系統和通用接口總線( General Purpose Interface Bus,GP IB)接口，能獨立完成測試。智能儀器由于引入了計算機，功能強大，性能優異，使用靈活、方便，是現階段高檔電子儀器的主體。如離子污染測試儀，上PIN機，雙盤研磨機，剝離強度測試儀，拉脫強度測試儀等都采用智能技術的現代化精密檢測儀器，又比如納米智能機器人。
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